嚴偉，男，1977年2月生，研究員，博士生導師，四川省杰青，國家科技專家庫專家，西部之光聯合學者，首屆青促會會員，中國科學院光電所青年創新人才。2000年至今一直在中國科學院光電技術研究所“微電子裝備總體研究室”工作，主要研究集中于微電子裝備研制，以及相關微納光學、光學測量的關鍵技術研究工作。

近5年承擔的科研任務包括：作為總師完成國家科技重大專項課題“下一代193nm光子篩聚焦無掩模光刻關鍵技術”；主持國家自然科學基金面上項目、中國科學院國防科技創新基金項目、四川省杰青基金、西部之光項目、院裝備項目等科研任務。獲中國半導體行業協會半導體創新產品和技術獎1項、四川省科技進步二等獎和三等獎各1項、中國煙草總公司科學技術發明獎三等獎1項。發表科技論文40余篇（第1作者10篇），發明專利16項，軟件版權2項（第一申請人8項，授權發明專利11項），培養研究生15名（獨立執導碩士3名，博士6名）。

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